2015 PVA TePla GIGA 690

PVA TePla GIGA 690 Die Anlage wird mit einer Ebara-Trockenpumpe geliefert. Wir verkaufen hier eine gebrauchte GIGA 690 von PVA TePLA. Die GIGA 690 ist eine MIKROWELLE PLASMASYSTEM. PROZESSKAMMER  Material Aluminium  Volumen 91 Liter  Innenmaße 450 x 450 x 450 mm  Keine HF-Elektroden in der Kammer VAKUUMSYSTEM  Vakuumanschluss DN 63 ISO K  Prozessgasregelung 2 Gaskanäle serienmäßig,  jeweils mit MFC und Magnetventil  Grunddruck ca. 2 x 10-2 mbar  Prozessdruck Ca. 0,2–2 mbar  Evakuierungszeit Ca. 1 Minute  Vakuummeter, Kapazitätsmanometer,  10-2 bis 10 mbar  Entlüftungsmagnetventil LEISTUNGSDATEN  Betriebszeit >95 %  MTBF >500 h  MTTR <2 Stunden SYSTEMKONTROLLE  Hardware-PC-basierter Systemcontroller  10,4'' Monitor, GUI  Status des Lichtturmsystems r/g/y  Software-Echtzeit-Betriebssystem QNX  Manuelle und automatische Systemsteuerung  Speicherung mehrerer Rezepte  Verarbeiten Sie Rezepte mit bis zu 100 Rezepten  mit jeweils 1-10 Schritten  Selbsttestroutine des Systems,  Warn- und Fehlermeldungsdialog  Soft- und Hardware-Sicherheitsverriegelungen,  optische Plasmaintensitätsüberwachung LIEFERUNGEN  Strom 230 V, einphasig, 15 A, 50/60 Hz  Prozessgas 1/4“ Swagelok-Anschluss,  Eingangsdruck 1–2 bar  Druckluft 1/4“ Swagelok-Anschluss,  Eingangsdruck 4–6 bar PLASMAQUELLE  Mikrowellengenerator  Frequenz 2,45 GHz  Einstellbares Magnetron, luftgekühlt,  proprietäre Antennen- und Kopplungsgeometrie  Leistung 0–1.000 W MASSE  B/H/T ca. 1.050 x 1.750 x 800 mm  Gewicht 195 kg (nur System, ohne Pumpe) STATUS Die GIGA 690 wurde 4 Jahre lang produziert und ist in einem wirklich guten Zustand. Jahr Mitte 2015 hergestellt und Anfang 2019 aus der Produktion genommen. Die Maschine ist derzeit wie abgebildet verpackt, kann aber problemlos für eine Inspektion vorbereitet werden. PVA TePLA ist ein Unternehmen, das sich auf die Herstellung von Geräten für Halbleiter, Photovoltaik und Forschung spezialisiert hat Branchen. Sie entwickeln und produzieren fortschrittliche Systeme für Prozesse wie Plasmaätzen, Oberflächenaktivierung, plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD) und andere plasmabasierte Anwendungen. Mikrowellenplasmasysteme sind eine Art Plasmaverarbeitungsgerät, das Mikrowellen zur Plasmaerzeugung nutzt. In diesen In Systemen werden Mikrowellen in eine Plasmakammer geleitet, wo sie mit einem Gas (normalerweise einem reaktiven Gas wie z. B Sauerstoff, Stickstoff oder Wasserstoff). Diese Wechselwirkung ionisiert die Gaspartikel und erzeugt ein hochenergetisches Plasma. Das erzeugte Plasma kann für verschiedene Anwendungen genutzt werden, wie zum Beispiel: 1. Plasmaätzen: Entfernen von Material von einem Substrat durch chemische Reaktion mit dem Plasma. 2. Oberflächenaktivierung: Modifizierung der Oberflächeneigenschaften von Materialien zur Verbesserung der Haftung oder Bindung. 3. Dünnschichtabscheidung: Erzeugung dünner Schichten auf Substraten mithilfe plasmaverstärkter chemischer Reaktionen. 4. Reinigung: Entfernen von Verunreinigungen von der Oberfläche von Substraten. 5. Oberflächenbehandlung: Verbesserung der Oberflächenbenetzbarkeit oder Änderung der Oberflächenenergie. Der Einsatz von Mikrowellen zur Plasmaerzeugung bietet mehrere Vorteile, beispielsweise die präzise Kontrolle der Plasmaeigenschaften und Gleichmäßigkeit, hohe Plasmadichte und die Fähigkeit, ein breites Spektrum an Materialien zu verarbeiten. Weitere Informationen finden Sie hier - https://www.ucymachines.com/ [https://www.ucymachines.com/] Kontaktieren Sie uns unter sales@ucymachines.com