2015 PVA TePla GIGA 690

PVA TePla GIGA 690 La planta viene acompañada de una bomba seca Ebara. Estamos vendiendo aquí un GIGA 690 usado de PVA TePLA. El GIGA 690 es un MICROONDAS SISTEMA DE PLASMA. CÁMARA DE PROCESO  Material Aluminio  Volumen 91 litros  Dimensiones interiores 450 x 450 x 450 mm  No hay electrodos de RF dentro de la cámara SISTEMA DE VACÍO  Conexión de vacío DN 63 ISO K  Control de gas de proceso 2 canales de gas estándar,  cada uno con MFC y válvula solenoide  Presión base Aprox. 2 x 10-2 mbar  Presión de proceso Aprox. 0,2–2 mbar  Tiempo de evacuación Aprox. 1 minuto  Manómetro de capacitancia del vacuómetro,  10-2 a 10 mbar  Válvula solenoide de ventilación DATOS DE RENDIMIENTO  Tiempo de actividad > 95% MTBF > 500 h  MTTR <2 h CONTROL DE SISTEMA  Controlador de sistema basado en PC de hardware  Monitor de 10,4'', GUI  Estado del sistema de torre de luz r/g/y  Software Sistema Operativo en Tiempo Real QNX  Control manual y automático del sistema.  almacenamiento de recetas múltiples Procesar receta hasta 100 recetas  con 1-10 pasos cada uno  Rutina de autodiagnóstico del sistema,  Diálogo de mensaje de error de advertencia  Enclavamientos de seguridad de software y hardware,  monitoreo de la intensidad del plasma óptico SUMINISTROS  Electricidad 230 V, monofásica, 15 A, 50/60 Hz  Conector Swagelok de 1/4“ para gas de proceso,  presión de entrada 1–2 bar  Conector Swagelok de 1/4“ de aire comprimido,  presión de entrada 4–6 bar FUENTE DE PLASMA  Generador de microondas  Frecuencia 2,45 GHz  Magnetrón ajustable, refrigerado por aire,  antena patentada y geometría de acoplamiento  Potencia 0–1.000 W DIMENSIONES  Ancho/Alto/Profundidad Aprox. 1.050 x 1.750 x 800 mm  Peso 195 kg (solo sistema, sin bomba) ESTADO La GIGA 690 estuvo 4 años en producción y está en muy buenas condiciones. Año de fabricar a mediados de 2015 y retirarse de la producción a principios de 2019. La máquina está embalada actualmente, como se puede ver, pero se puede preparar fácilmente para su inspección. PVA TePLA es una empresa especializada en la fabricación de equipos para semiconductores, fotovoltaicos e investigación. industrias Desarrollan y producen sistemas avanzados utilizados para procesos como grabado con plasma, activación de superficies, deposición química de vapor mejorada con plasma (PECVD) y otras aplicaciones basadas en plasma. Los sistemas de plasma por microondas son un tipo de equipo de procesamiento de plasma que utiliza microondas para generar plasma. En estos sistemas, las microondas se dirigen a una cámara de plasma, donde interactúan con un gas (generalmente un gas reactivo como oxígeno, nitrógeno o hidrógeno). Esta interacción ioniza las partículas de gas, creando un plasma altamente energizado. El plasma generado se puede utilizar para diversas aplicaciones, tales como: 1. Grabado con plasma: Eliminación de material de un sustrato al reaccionar químicamente con el plasma. 2. Activación de la superficie: modificación de las propiedades de la superficie de los materiales para mejorar la adhesión o unión. 3. Deposición de película delgada: creación de películas delgadas sobre sustratos mediante reacciones químicas mejoradas con plasma. 4. Limpieza: Eliminación de contaminantes de la superficie de los sustratos. 5. Tratamiento de superficie: mejora de la humectabilidad de la superficie o alteración de la energía superficial. El uso de microondas para generar plasma tiene varias ventajas, como un control preciso sobre las propiedades del plasma. y uniformidad, alta densidad de plasma y la capacidad de procesar una amplia gama de materiales. Encuentre más aquí - https://www.ucymachines.com/ [https://www.ucymachines.com/] Contáctenos en - sales@ucymachines.com