2015 PVA TePla GIGA 690

PVA TePla GIGA 690 L'installation est accompagnée d'une pompe sèche Ebara. Nous vendons ici une GIGA 690 d'occasion de PVA TePLA. Le GIGA 690 est un MICRO-ONDES SYSTÈME PLASMA. CHAMBRE DE PROCESSUS  Matériau Aluminium  Volume 91 litres  Dimensions intérieures 450 x 450 x 450 mm  Pas d'électrodes RF à l'intérieur de la chambre SYSTÈME DE VIDE  Raccord de vide DN 63 ISO K  Contrôle du gaz de procédé 2 canaux de gaz standard,  chacun avec MFC et électrovanne  Pression de base env. 2 x 10-2 mbar  Pression de processus env. 0,2–2 mbar  Temps d'évacuation Env. 1 minute  Vacuomètre Manomètre capacitif,  10-2 à 10 mbar  Électrovanne de ventilation DONNÉES DE PERFORMANCE  Disponibilité > 95 %  MTBF >500 h  MTTR <2 h CONTROLE DU SYSTÈME  Contrôleur de système matériel basé sur PC  Moniteur 10,4′′, interface graphique  État du système de la tour d'éclairage r/g/y  Logiciel Système d'exploitation en temps réel QNX  Contrôle manuel et automatique du système  stockage de plusieurs recettes  Traiter la recette jusqu'à 100 recettes  avec 1 à 10 étapes chacune  Routine d'autotest du système,  boîte de dialogue de message d'erreur d'avertissement  Verrouillages de sécurité logiciels et matériels,  surveillance optique de l'intensité du plasma FOURNITURES  Électricité 230 V, monophasé, 15 A, 50/60 Hz  Gaz de procédé Raccord Swagelok 1/4“,  pression d'entrée 1–2 bar  Raccord Swagelok air comprimé 1/4“,  pression d'entrée 4–6 bar SOURCE DE PLASMA  Générateur de micro-ondes  Fréquence 2,45 GHz  Magnétron réglable, refroidi par air,  antenne propriétaire et géométrie de couplage  Puissance 0–1.000 W DIMENSIONS  L/H/P env. 1.050 x 1.750 x 800 mm  Poids 195 kg (système seul, hors pompe) STATUT Le GIGA 690 a été produit pendant 4 ans et est en très bon état. L'année de fabrication mi-2015 et sortie de production début 2019. La machine est actuellement mise en caisse comme on peut le voir, mais peut facilement être préparée pour l'inspection. PVA TePLA est une entreprise spécialisée dans la fabrication d'équipements pour les semi-conducteurs, le photovoltaïque et la recherche les industries. Ils développent et produisent des systèmes avancés utilisés pour des processus tels que la gravure au plasma, l'activation de surface, dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PECVD) et autres applications à base de plasma. Les systèmes plasma à micro-ondes sont un type d'équipement de traitement au plasma qui utilise des micro-ondes pour générer du plasma. Dans ces systèmes, les micro-ondes sont dirigées dans une chambre à plasma, où elles interagissent avec un gaz (généralement un gaz réactif comme oxygène, azote ou hydrogène). Cette interaction ionise les particules de gaz, créant un plasma hautement énergétique. Le plasma généré peut être utilisé pour diverses applications, telles que : 1. Gravure au plasma : Retrait de matière d'un substrat par réaction chimique avec le plasma. 2. Activation de surface : modification des propriétés de surface des matériaux pour améliorer l'adhérence ou le collage. 3. Dépôt de couches minces : création de couches minces sur des substrats à l'aide de réactions chimiques assistées par plasma. 4. Nettoyage : élimination des contaminants de la surface des substrats. 5. Traitement de surface : Améliorer la mouillabilité de surface ou modifier l'énergie de surface. L'utilisation de micro-ondes pour générer du plasma présente plusieurs avantages, tels qu'un contrôle précis des propriétés du plasma et l'uniformité, la haute densité de plasma et la capacité de traiter une large gamme de matériaux. En savoir plus ici - https://www.ucymachines.com/ [https://www.ucymachines.com/] Contactez-nous à - sales@ucymachines.com