2015 PVA TePla GIGA 690

PVA TePla GIGA 690 L'impianto è corredato da una pompa a secco Ebara. Vendiamo qui un GIGA 690 usato di PVA TePLA. Il GIGA 690 è un MICROONDE SISTEMA AL PLASMA. CAMERA DI PROCESSO  Materiale Alluminio  Volume 91 litri  Dimensioni interne 450 x 450 x 450 mm  Nessun elettrodo RF all'interno della camera SISTEMA DEL VUOTO  Attacco vuoto DN 63 ISO K  Controllo gas di processo 2 canali gas standard,  ciascuno con MFC ed elettrovalvola  Pressione di base ca. 2 x 10-2 mbar  Pressione di processo ca. 0,2–2 mbar  Tempo di evacuazione ca. 1 minuto  Vacuometro capacitivo manometro,  Da 10-2 a 10 mbar  Elettrovalvola di sfiato DATI DI PRESTAZIONE  Tempo di attività >95%  MTBF >500 ore  MTTR <2 ore CONTROLLO DEL SISTEMA  Controller di sistema hardware basato su PC  Monitor da 10,4'', GUI  Stato impianto Torre Faro r/g/a  Software Sistema operativo in tempo reale QNX  Controllo del sistema manuale e automatico  memorizzazione di più ricette  Ricetta di processo fino a 100 ricette  con 1-10 passi ciascuno  Routine di autotest del sistema,  finestra di dialogo dei messaggi di errore degli avvisi  Interblocchi di sicurezza software e hardware,  monitoraggio ottico dell'intensità del plasma FORNITURE  Elettricità 230 V, monofase, 15 A, 50/60 Hz  Attacco Swagelok 1/4" per gas di processo,  pressione di ingresso 1–2 bar  Connettore Swagelok 1/4“ per aria compressa,  pressione di ingresso 4÷6 bar FONTE DI PLASMA  Generatore di microonde  Frequenza 2,45 GHz  Magnetron regolabile, raffreddato ad aria,  antenna proprietaria e geometria di accoppiamento  Potenza 0–1.000 W DIMENSIONI  L/A/P ca. 1.050 x 1.750 x 800 mm  Peso 195 kg (solo sistema, pompa esclusa) STATO La GIGA 690 era in produzione da 4 anni ed è in ottime condizioni. Anno di produzione a metà del 2015 e messa fuori produzione all'inizio del 2019. La macchina è attualmente imballata come si può vedere, ma può essere facilmente preparata per l'ispezione. PVA TePLA è un'azienda specializzata nella produzione di apparecchiature per semiconduttori, fotovoltaico e ricerca industrie. Sviluppano e producono sistemi avanzati utilizzati per processi come l'attacco al plasma, l'attivazione superficiale, deposizione chimica da fase vapore assistita da plasma (PECVD) e altre applicazioni basate su plasma. I sistemi al plasma a microonde sono un tipo di apparecchiatura per la lavorazione del plasma che utilizza le microonde per generare plasma. In questi sistemi, le microonde sono dirette in una camera al plasma, dove interagiscono con un gas (di solito un gas reattivo come ossigeno, azoto o idrogeno). Questa interazione ionizza le particelle di gas, creando un plasma altamente energizzato. Il plasma generato può essere utilizzato per varie applicazioni, come: 1. Incisione al plasma: rimozione di materiale da un substrato mediante reazione chimica con il plasma. 2. Attivazione superficiale: modifica delle proprietà superficiali dei materiali per migliorare l'adesione o l'incollaggio. 3. Deposizione di film sottili: creazione di film sottili su substrati utilizzando reazioni chimiche potenziate dal plasma. 4. Pulizia: rimozione di contaminanti dalla superficie dei substrati. 5. Trattamento superficiale: miglioramento della bagnabilità superficiale o alterazione dell'energia superficiale. L'uso delle microonde per generare il plasma presenta diversi vantaggi, come il controllo preciso sulle proprietà del plasma e uniformità, elevata densità del plasma e capacità di lavorare un'ampia gamma di materiali. Scopri di più qui - https://www.ucymachines.com/ [https://www.ucymachines.com/] Contattaci a - sales@ucymachines.com