2018 DIENER Tetra 100 Plasma system

Tetra 100_LF-PC-c - Jaar van constructie 2018 - Werk uren Plasmasysteem: 1004 Droogloperpomp: 644 Het corrosieve gasbestendige systeem beschikt over een speciale vacuümkamer van 400 mm x 625 mm x 400 mm (B x D x H). De vacuümkamer kan volledig worden geopend met behulp van een geautomatiseerde lade. Een vasthoudframe voor substraten bevindt zich verticaal op het uiteinde van de lade aan de systeemzijde. Het vormt de tegenelektrode voor de elektrode in de vacuümkamer. Beide elektroden zijn uitgerust met een koelwatercircuit. Substraathouders met openingen in de richting van de elektrode kan in het houderframe van de lade worden gemonteerd. Monsters die door de openingen in de elektrode naar de elektrode wijzen vasthoudframe kan worden behandeld in het plasmaproces. Het resterende volume van de lade bevindt zich tijdens het laden in een hoog vacuüm proces, maar wordt niet blootgesteld aan het plasma zelf. De lade heeft ook flenzen om grotere monsters in de lade te kunnen plaatsen plasma kamer. De toegang tot het ladegedeelte wordt bewaakt door een veiligheidssysteem op basis van lichtbarrières. Het systeem is volledig functioneel. Het is kortstondig in gebruik genomen en één keer voor testdoeleinden in december 2023. - Afmetingen en gewichten indien bekend Plasmasysteem Tetra 100_LF-PC-c - Afmetingen (B x D x H) 600 mm x 1200 mm x 2100 mm - Gewicht: ca. 2,5 kg 350 kg Edwards iH1800 droogloperpomp - Afmetingen: (L (tot behuizing van het uitlaatsysteem) x B x H (tot frequentieomvormer)) 986 (1059) mm x 470 mm x 888 (1094) mm - Gewicht: 502 kg Rittal SK Koelmachine TopTherm (SK 3334.600) - Afmetingen: (B x D x H) 602 mm x 645 mm x 676 mm - Gewicht / bedrijfsgewicht: 125 kg / 155 kg Van Der Heijden mobiele koelkast (laboratorium chiller) Type: 0000-A-KH-B400-TT-12-54-62 - Afmetingen: (B x D x H) 360 mm x 470 mm x 590 mm - Gewicht: 46 kg - Technische basisinformatie over de plasmasystemen - Plasmasysteem type Tetra 100 (Diener electronic Vertriebs GmbH + Co. KG), corrosief gasversie - Aansluiting 400 V / 32 A - Volledige pc-besturing met optie voor onderhoud op afstand via TeamViewer - Generatortype A (80 kHz, 0 -1000 W) - Elektrode, watergekoeld, aluminium, 314 mm x 25 mm x 318 mm (B x D x H) - Speciale vacuümkamer, RVS, kijkglazen aan de achterzijde, met lade, geautomatiseerd en elektrisch aangedreven, Afmetingen B: 400 mm, D: 625 mm, H: 400 mm (inhoud: ca. 100 liter) - Watergekoelde monsterhouder, incl. thermometer (geïntegreerd in besturingssoftware) - Dosering voor Silan A 174 (incl. verwarmingspatroon, doseerunit, software-integratie, toevoer naar kamer via apart gas inlaat) - Drukregelaar voor zuurstof, edelgassen (incl. inlaat- en uitlaatmanometers) - Drukregelaar SF6, C4F8 - 400 V Edwards iH1800 droogloperpomp, zuigcapaciteit 1800 m3/h - Rittal SK Chiller TopTherm (SK 3334.600) - Van Der Heijden mobiele koelunit (laboratoriumchiller) type: 0000-A-KH-B400-TT-12-54-62, instelbereik: -5°C - +25°C, Pompcapaciteit max. 28 l/min - Actief koolfilter KF 40 - Softwaretaal: Duits, Engels, Hongaars - Gebruiksaanwijzing in het Duits - Onderhoudsstatus Laatste onderhoud door fabrikant 18.10.2019 (jaarlijkse onderhoudscyclus werd geannuleerd vanwege daaropvolgende systeemuitschakeling) - Reserveonderdelen meegeleverd - 1 x elektrode, watergekoeld, titanium, 314 mm x 25 mm x 318 mm (B x D x H) - 1 x elektrode, watergekoeld, roestvrij staal, 314 mm x 25 mm x 318 mm (B x D x H), zo goed als nieuw - 4 x vasthoudboutelektrode - 1 x substraathouder Vind hier meer - https://www.ucymachines.com/ [https://www.ucymachines.com/] Neem contact met ons op via sales@ucymachines.com