2016 DIENER Tetra 30
2016 DIENER Tetra 30
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奥斯纳布吕克, 德国
描述
制造商:DIENER Electronic GmbH + Co. KG PLASMACLEANER
型号名称:TRETRA 30
制造年份:2016
是否仍在运营:否
提供操作手册:是
是否提供 CE 声明:是
数据表:不适用
可用的服务报告:不适用
机器所在位置:厂房
是否可验货:是
EV.accessories: N/A
利乐30
低压等离子系统
低压等离子系统
用于等离子清洗、活化、蚀刻和涂层
外壳尺寸(19" 机架)
(有联系)
宽度约。 600 毫米
高度约。 1700 毫米
深度约。 800 毫米
重量约。 250 公斤(不含泵)
真空室
不锈钢或铝
矩形,带铰链的门
宽度约。 305 毫米
高度约。 300 毫米
深度约。 370 或 625 毫米
室容积
约34 升 - 57 升
供气
质量流量控制器 (MFC)
发电机频率
80 kHz 功率 1000 W 或 3000 W
13.56 MHz 功率 0 - 300 W; 0 - 600 瓦
2.45 GHz 功率 0 - 600 W; 0 - 1200 瓦
所有发电机都是连续可变的
从 0 - 100
电极
单电极或多电极
带气体喷淋的 RIE 电极
控制硬件
PCCE 控制 (Microsoft Windows CE)
PC 控制(Microsoft Windows 10 物联网)
压力测量
皮拉尼
电容式压力计(用于腐蚀性气体版本)
电源供应
230 或 400 V / 3 相
真空泵
不同的尺寸和不同的
制造商(如果需要,可以使用活性炭过滤器)
低压等离子系统
低压等离子系统
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参数规格
制造商 | DIENER |
型号 | Tetra 30 |
Year | 2016 |
(使用) 状况 | 二手的 |