2022 AP&S CleanStep lll
2022 AP&S CleanStep lll
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Available quantity: 1
苏黎世, 瑞士
描述
AP&S CleanStep lll 的清洁机出售。
该机器从未被拆封过。它位于制造商的原始包装中,从未拆封过。
因此我们无法提供任何图片。
工具外壳和处理室由 PP 制成。
CleanStep CB III 将 4 英寸至 12 英寸盒子和盒以及 SMIF、FOUP、RSP 的清洁和干燥结合在一起
和其他类型的洁净室盒子一次运行。易于操作、完全集成的过程控制和最低要求
洁净室空间以较低的拥有成本提供最佳的质量。
它旨在支持简单的操作、最新的过程监控和控制功能。
技术数据、设施要求:
电源电压 400 VAC / 50 Hz
最大。额定输入功率 75 kVA
标称电流 3 x 72 A
预熔断 3 x 80 A
大约。尺寸(宽x深x高)1865 x 1685 x 2608 毫米
最大。转速 120 转/分钟
最大。装载重量30公斤
H2O 去离子水 d20 DN15,3 bar
排水处理室 d63 DN50
排水罐 d63 DN50
排水滴盘(泵+阀门区域)d63 DN50
压缩空气 (CDA) 1⁄2” Swagelok SS; 6巴;最大限度。 30标准立方米/小时
氮气 (N2) 1⁄2” Swagelok SS; 3巴
重量约。 2070公斤
噪音水平 < 70 db(A)
排气管 PP,Ø 250 mm;最小容量要求 1300 m3/ h
工厂验收测试
按照协议进行。
自2022年10月起,它一直被存放在瑞士的一间空调房间内。
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参数规格
制造商 | AP&S |
型号 | CleanStep lll |
Year | 2022 |
(使用) 状况 | 全新的 |