2018 Diener Tetra 100_LF-PC-c

Tetra 100_LF-PC-c - 建造年份 2018 - 营业时间 等离子系统：882 压盖泵：498 健康）状况 耐腐蚀性气体系统具有特殊的真空室，尺寸为 400 mm x 625 mm x 400 mm（宽 x 深 x 高）。这 真空室可以使用自动抽屉完全打开。基板的固定框架垂直位于 系统侧抽屉的末端。它形成真空室中电极的对电极。两个都 电极配备有冷却水回路。基板支架在电极方向上有开口 可以安装在抽屉的固定框架中。通过开口指向电极的样品 支撑框架可以在等离子工艺中进行处理。抽屉的剩余容积在抽真空过程中处于高真空状态。 过程，但不暴露于等离子体本身。抽屉还具有凸缘，用于将较大的样品插入抽屉中。 等离子体室。抽屉区域的访问由基于光栅的安全系统监控。 一个阀门有泄漏。因此，该系统无法投入运行并进行准备测试。 尺寸和重量（如果已知） 等离子系统 Tetra 100_LF-PC-c - 尺寸（宽x深x高）600毫米x 1200毫米x 2100毫米 - 重量：约。 350公斤 Edwards iH1800 压盖泵 - 尺寸：（长（至排气系统外壳）x 宽 x 高（至变频器）） 986 (1059) 毫米 x 470 毫米 x 888 (1094) 毫米 - 重量：502公斤 威图 SK 冷水机 TopTherm (SK 3334.600) - 尺寸：（宽 x 深 x 高）602 毫米 x 645 毫米 x 676 毫米 - 重量/工作重量：125公斤/155公斤 Van Der Heijden 移动冰箱（实验室冷水机）型号：0000-A-KH-B400-TT-12-54-62 - 尺寸：（宽 x 深 x 高）360 毫米 x 470 毫米 x 590 毫米 - 重量：46 公斤 - 等离子系统的基本技术信息 - Tetra 100 型等离子系统（Diener electronics Vertriebs GmbH + Co. KG），腐蚀性气体版本 - 连接 400 V / 32 A - 通过 TeamViewer 进行完全 PC 控制和远程维护选项 - A 型发生器（80 kHz，0 -1000 W） - 电极，水冷，铝，314 mm x 25 mm x 318 mm（宽 x 深 x 高） - 特殊真空室，不锈钢，后部视镜，带抽屉，自动和电动驱动， 尺寸 宽：400 毫米，深：625 毫米，高：400 毫米（体积：约 100 升） - 水冷样品架，包括。温度计（集成在控制软件中） - Silan A 174 的计量（包括加热筒、计量单元、软件集成、通过单独的气体向腔室供应 进口） - 氧气、稀有气体减压器（包括入口和出口压力表） - 减压器SF6、C4F8 - 400 V Edwards iH1800 压盖泵，抽吸能力 1800 m3/h - 威图 SK 冷水机 TopTherm (SK 3334.600) - Van Der Heijden 移动冷却装置（实验室冷水机）型号：0000-A-KH-B400-TT-12-54-62，设置范围：-5°C - +25°C， 最大泵容量28升/分钟 - 活性炭过滤器 KF 40 - 软件语言：德语、英语、匈牙利语 - 德语操作说明 - 维护状态 制造商上次维护时间为 2019 年 10 月 17 日（由于随后系统关闭，年度维护周期被取消） - 提供备件 - 1 x 电极，水冷，钛，314 mm x 25 mm x 318 mm（宽 x 深 x 高） - 4 x 电极固定螺栓 - 1 x 基材支架 在这里找到更多 - https://www.ucymachines.com/ [https://www.ucymachines.com/] 联系我们 - sales@ucymachines.com