2016 DIENER Tetra 30
2016 DIENER Tetra 30
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Osnabruque, Alemanha
Descrição
Fabricante: DIENER Electronic GmbH + Co. KG PLASMACLEANER
Designação do tipo: TRETRA 30
Ano de fabricação: 2016
Ainda em funcionamento: Não
Manual de operação disponível: Sim
Declaração CE disponível: Sim
Folha de dados: N/A
Relatórios de serviço disponíveis: N/A
Onde a máquina está localizada: Pavilhão da fábrica
Pode ser inspecionado: Sim
Ev.acessórios: N/A
Tetra 30
Sistemas de plasma de baixa pressão
Sistemas de plasma de baixa pressão
para limpeza de plasma, ativação, corrosão e revestimento
Dimensões da carcaça (rack de 19")
(com conexões)
largura aprox. 600 mm
altura aprox. 1700 mm
profundidade aprox. 800 mm
Peso aprox. 250 kg (sem bomba)
Câmaras de vácuo
Aço inox ou alumínio
Retangular, porta com dobradiça
largura aprox. 305mm
Altura aprox. 300 mm
Profundidade aprox. 370 ou 625 milímetros
volume da câmara
Aproximadamente. 34 litros - 57 litros
Suprimento de gás
Controlador de Fluxo de Massa (MFC)
Frequências do Gerador
80 kHz Potência 1000 W ou 3000 W
13,56 MHz Potência 0 - 300 W; 0 - 600 W
2,45 GHz Potência 0 - 600 W; 0 - 1200 W
Todos os geradores são continuamente variáveis
de 0 a 100
Eletrodos
Eletrodos simples ou múltiplos
Eletrodo RIE com chuveiro a gás
hardware de controle
Controle PCCE (Microsoft Windows CE)
Controle de PC (Microsoft Windows 10 IoT)
Medição de pressão
Pirani
Manômetro de capacitância (para versão de gás corrosivo)
Fonte de energia
230 ou 400 V / 3 fases
Bomba de vácuo
Em tamanhos diferentes e de diferentes
fabricantes (com filtro de carvão ativado, se necessário)
Sistemas de plasma de baixa pressão
Sistemas de plasma de baixa pressão
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Especificações
Fabricante | DIENER |
Modelo | Tetra 30 |
Ano | 2016 |
Condição | Usado |